용인 ‘첨단반도체 미니팹’ 기반사업, 예비타당성 연내 통과위해 총력

김혜숙 기자

등록 2024-02-17 05:32

0217 용인 반도체클러스터 일반산업단지 조감도

용인 ‘첨단반도체 양산연계형 미니팹 기반구축사업’이 예타 조사 대상으로 선정됐다. 과학기술정보통신부는 2024년 연내 통과 여부를 결정하기로 했다.

용인특례시(시장 이상일)는 처인구 원삼면 용인 반도체클러스터에 들어설 ‘첨단반도체 양산연계형 미니팹 기반구축사업’이 예비 타당성 조사 대상으로 선정됨에 따라 산업통상자원부와 협력해 예비 타당성 조사가 원만하게 통과될 수 있도록 노력할 것이라고 16일 밝혔다.

산업통상자원부 주도로 추진되는 이 사업은 약 9060억원 규모다. 정부와 용인특례시, 경기도 등이 공동으로 사업비를 지원하며 반도체 소재·부품·장비(소부장)를 실증할 수 있는 최첨단 미니팹(테스트 베드)을 만드는 것을 목표로 하고 있다. 사업 기간은 2025년에서 2032년이다.

미니팹은 클린룸 내에 12인치 웨이퍼 기반, 최대 10nm급 반도체 최신 공정·성능평가 장비들을 갖추고 소·부·장 기업이 개발한 제품의 양산 신뢰성을 반도체 칩 제조 기업과 함께 검증할 수 있는 시설을 뜻한다. 소·부·장 기업의 경쟁력 강화를 위해 그동안 반도체 업계가 한 목소리로 지원을 요청했던 숙원사업이다.